Etnews rapporterade att Samsung Electronics och SK Hynix har beställt en hög-NA ultra-ultraviolett (EUV) exponeringsenhet
Dec 09, 2022| Etnews rapporterade att Samsung Electronics och SK Hynix har beställt en hög-NA ultra-ultraviolett (EUV) exponeringsenhet för nästa generations halvledarutrustning från litografijätten ASML. Efter TSMC och Intel förbereder sig även koreanska halvledartillverkare för att introducera utrustning som klarar 2nm-processen. Konkurrensen om de mest avancerade processerna förväntas öka.
IT House förstår att High-NA EUV-utrustning är dyrare än EUV-utrustningen som används för närvarande, men den möjliggör en engångsimplementering av den ultrafina processen (single patterning), vilket kan öka produktiviteten avsevärt. När det gäller Samsung Electronics är det nödvändigt att säkra High-NA EUV-enheter för 2nm massproduktion före 3nm massproduktion. Befintlig EUV-utrustning beräknas kosta mellan 200 miljarder won (cirka 1,008 miljarder yuan) och 300 miljarder won (cirka 1,512 miljarder yuan), medan High-NA EUV-utrustning beräknas kosta 500 miljarder won (cirka 2,52 miljarder yuan).
